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식각
,기타,레포트
-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻
레포트/기타
-반도체 공정 중의 하나
식각
순서
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-필요 없는 부분을 선택적으로 제거 한다는 뜻-반도체 공정 중의 하나 반도체 공정 순서 (참고)식각 , 식각기타레포트 ,
등방성(isotropic) → 치수 조절이 힘듬
순수한 화학적 反應
높은 선택적(Selectivity) 反應
원가는…(skip)
설명
반도체 공정 순서 (참고)
다.