[Engineering기술] 리소그래피Lithography3
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작성일 20-06-03 17:58
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이것을 서브미크론 기술이라…(생략(省略))
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[Engineering기술] 리소그래피Lithography3
리소그래피(Lithography)
집적회로를 만들 때 중요한 부분에 사진기술이 사용된다 실리콘칩 표면에 만들고자 하는 부품의 패턴을 빛으로 촬영하고 그것이 감광된 수지를 칩 표면에 고정한 후 화학처리나 확산처리를 하는데, 이를 총칭해 리소그래피(lithography)라 한다.
따라서 얼마만큼 미세한 패턴을 만드는가가 이 기술의 키포인트인데, 짧은 파장의 빛을 사용하면 정밀도가 높은 패턴을 만들 수 있다
처음에는 눈에 보이는 파장의 빛(가시광선)을 사용하는 정도였으나, 곧이어 자외선을 사용하게 됐고, 최근에는 필요에 따라 전자빔을 사용해 1μ 이하의 미세한 패턴을 만든다.
